Công nghệ laser mới mở đường cho thế hệ quang khắc ‘vượt EUV’
Laser Thulium đạt hiệu quả gấp 10 lần so với laser CO2 trên máy quang khắc EUV hiện tại, có thể thay thế trong tương...
Tag : EUV
Mỹ xây trung tâm gần tỷ USD tạo EUV đối đầu ASML
Trung tâm EUV Accelerator nhận khoản tài trợ 825 triệu USD từ chính phủ Mỹ với mục tiêu tạo máy quang khắc siêu cực tím...
Nhật bản phát triển máy quang khắc EUV giá rẻ
Các nhà nghiên cứu Nhật Bản phát triển thành công máy quang khắc EUV đơn giản và rẻ hơn, có thể đe dọa vị thế...